?將擺動氣缸作為驅動源，縮短了高度方向的尺寸。
?重復操作精度 ±0.01mm。
?可對應潔凈室等級10。
?帶磁性開關（MDHR3系列：MDHR3）。
| 系列 | 氣缸內徑（mm） |
|---|---|
| MHR3 | 公稱直徑10，15 |
| MDHR3 | 公稱直徑10，15 |
?將擺動氣缸作為驅動源，縮短了高度方向的尺寸。?重復操作精度 0.01mm。?可對應潔凈室等級10。?帶磁性開關（MDHR3系列：MDHR3）。系列氣缸內徑（mm）MHR3公稱直徑10，15MDHR3公稱直徑10，15
?將擺動氣缸作為驅動源，縮短了高度方向的尺寸。
?重復操作精度 ±0.01mm。
?可對應潔凈室等級10。
?帶磁性開關（MDHR3系列：MDHR3）。
| 系列 | 氣缸內徑（mm） |
|---|---|
| MHR3 | 公稱直徑10，15 |
| MDHR3 | 公稱直徑10，15 |
