?用于微小工件的吸附確認(rèn)。
?重復(fù)精度±2％F.S.。
?響應(yīng)速度5ms以下，耐壓500kPa。
?無潤滑脂、符合RoHS。
?電壓顯示器 一臺(tái)可對應(yīng)全范圍。
?相關(guān)元件：真空過濾器 ZFC050系列。
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
?用于微小工件的吸附確認(rèn)。?重復(fù)精度2％F.S.。?響應(yīng)速度5ms以下，耐壓500kPa。?無潤滑脂、符合RoHS。?電壓顯示器 一臺(tái)可對應(yīng)全范圍。?相關(guān)元件：真空過濾器 ZFC050系列。系列額定流量范圍（L/min）PFMV0～0.50～10～3
?用于微小工件的吸附確認(rèn)。
?重復(fù)精度±2％F.S.。
?響應(yīng)速度5ms以下，耐壓500kPa。
?無潤滑脂、符合RoHS。
?電壓顯示器 一臺(tái)可對應(yīng)全范圍。
?相關(guān)元件：真空過濾器 ZFC050系列。
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
