?在HRZ系列的高性能基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了節能
?溫度范圍和冷卻能力范圍大
?用于刷新循環塊的半導體裝置等，可平緩地對應過程條件的變化
?符合UL, SEMI規格及CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩定性 | 冷卻方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 清水 脫離子水（純水） 乙二醇水溶液（60％） |
?在HRZ系列的高性能基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了節能?溫度范圍和冷卻能力范圍大?用于刷新循環塊的半導體裝置等，可平緩地對應過程條件的變化?符合UL, SEMI規格及CE標識系列設定溫度范圍冷卻能力溫度穩定性冷卻方式循環液HRZ－20～90℃
?在HRZ系列的高性能基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了節能
?溫度范圍和冷卻能力范圍大
?用于刷新循環塊的半導體裝置等，可平緩地對應過程條件的變化
?符合UL, SEMI規格及CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩定性 | 冷卻方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 清水 脫離子水（純水） 乙二醇水溶液（60％） |
