?1臺深冷器可分別控制2個系統
?雙變頻器：DC變頻冷凍機與變頻泵實現了大幅節能
?省空間：設置面積減小23％
?省配線、省空間、省工時：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個系統
?符合SEMI規格、CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩定性 | 冷卻方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
?1臺深冷器可分別控制2個系統?雙變頻器：DC變頻冷凍機與變頻泵實現了大幅節能?省空間：設置面積減小23％?省配線、省空間、省工時：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個系統?符合SEMI規格、CE標識系列設定溫度范圍冷卻能力溫度穩定性冷卻方式循環液H
?1臺深冷器可分別控制2個系統
?雙變頻器：DC變頻冷凍機與變頻泵實現了大幅節能
?省空間：設置面積減小23％
?省配線、省空間、省工時：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個系統
?符合SEMI規格、CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩定性 | 冷卻方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
